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功率模块参数测试系统

技术参数：
1. 输出电压最高7000V； 2. 输出电流最高4000A，短路电流达20kA（峰值）； 3. 测试温度最高200度。 4. 测试晶圆尺寸5英寸～8英寸。
功能特色：
样品要求：
应用领域：
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