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功能特色:ECVD 系统可以借助微波或射频源 使含有薄膜组成原子的气体在局部 形成等离子体...

功能特色:用于各种材料的离子束反应刻蚀,辅 助形成微/纳结构。可用于各种微纳器件 与结构的...

功能特色:(1)可沉积各种金属材料包括难熔金属、 绝缘材料的高纯度、高质量薄膜样品. (2...

功能特色:各种金属薄膜的溅射沉积;各种金属、非金属化合物薄膜的溅射沉积;可共溅射沉积薄膜;...

功能特色:各种金属薄膜的溅射蒸镀;各种金属、非金属化合物薄膜的溅射沉积...

功能特色:电子束蒸发仪可蒸发高纯与难熔材料,包括高熔点金属与非金属材料;四个可旋转坩埚,可...

功能特色:设备具有真空度高、抽速快、基片装卸方便、成膜均匀等优点,其次烘烤加热温度均匀;全...

功能特色:可制备高质量、低应力的氧化硅、氮化硅及非晶硅薄膜。 适用基片尺寸4英寸整片...

功能特色:...