功能特色:...
功能特色:采用紫外光源,制作亚微米(最小线宽0.5 μm)的图形。可用于各种微器件的制 作...
功能特色:1) 电子束直写应用。例如用于Si/GaAs 兼容工艺,研究用掩膜制造,纳米光刻...
功能特色:采用气体软压技术,压印均一性与一致性良 好。典型使用领域:光子晶体、亚波长光学器...
功能特色:各种光学光刻模板的制备;各种碎片、50 mm及100 mm基片微纳米图案的直写,...
功能特色:纳米压印系统采用热压和紫外光固化的图形成型方法,可进行微米级至纳米级的图形复制,...
功能特色:适用于所有标准化的光刻应用。具备顶部和底部对准系统。...
功能特色:适用于所有标准化的光刻应用。该设备稳定性、重复性高,可加工微细尺寸图形;采用分离...
功能特色:旋转涂布机配备了间接驱动系统,该系统可以防止与处理化学品和溶剂接触的旋转电机。分...
功能特色:工艺简单、可靠、效率高;处理后无酸气废水等残留...